| 000 | 00620nam0a22001930004500 | ||
|---|---|---|---|
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| 005 | 20200804104914.0 | ||
| 090 | _a36896 | ||
| 100 | _a19901122d1990 k y0pory5003 ba | ||
| 101 | 0 | _apor | |
| 102 | _aBR | ||
| 200 | 1 |
_aProcessos de microelectrónica _fed. Vitor Baranauskas |
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| 210 |
_aCampinas _cSociedade Brasileira de Vácuo _d1990 |
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| 215 |
_a281 p. _cil. _d29 cm |
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| 300 | _aObra com os Capítulos 3 e 8 em Inglês | ||
| 675 |
_a621.3.049.77 _vmed _zfre |
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| 702 | 1 |
_911686 _aBaranauskas, _bVitor _4340 |
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| 942 |
_cLIVRO _n0 |
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