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Deposição e caracterização de nitreto de silício por RF sputtering para barreira de proteção de lítio = [Deposition and characterization of silicon nitride by RF sputtering for barrier lithium protection] / David Jorge Silva Cunha; orient. Luís Gonçalves

Main Author Cunha, David Jorge Silva Secondary Author Gonçalves, L. M. Corporate Author (Secondary) Universidade do Minho. Escola de Engenharia Country Portugal. Publication Guimarães : [s.n.], 2014 Description XXII, 73 p. : il. ; 30 cm Dissertation Note or Thesis: CDU 621.355 Online resource Versão eletrónica. Acesso livre
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Monografia Biblioteca da UMinho no Campus de Azurém
Documentos Online + Teses e Dissertações BPG1 621.355 - C Available 449088
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Tese de mestrado Engenharia Eletrónica Industrial e Computadores Escola de Engenharia da Universidade do Minho 2014

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