Elwenspoek,, Miko Mechanical microsensors / M. Elwenspoek, R. Wiegerink

Mechanical microsensors / M. Elwenspoek, R. Wiegerink . - London : Springer, cop. 2001 . - X, 295 p. : il. 24 cm . - (Microtechnology and mems))
3-540-67582-5 (Encadernado)

681.5