Elwenspoek,, Miko
Mechanical microsensors / M. Elwenspoek, R. Wiegerink
Mechanical microsensors / M. Elwenspoek, R. Wiegerink
. - London : Springer, cop. 2001
. - X, 295 p. : il. 24 cm
. - (Microtechnology and mems))
3-540-67582-5 (Encadernado)
681.5