Biblioteca da Universidade do Minho

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Vaz,, F. Preparação e caracterização de filmes finos de Ti1-xSixNy, crescidos por pulverização catódica reactiva em magnetrão = [Preparation and characterization of Ti1-xSixNy films, grown by reactive magnetron sputtering] / José Filipe Vilela Vaz

Preparação e caracterização de filmes finos de Ti1-xSixNy, crescidos por pulverização catódica reactiva em magnetrão = [Preparation and characterization of Ti1-xSixNy films, grown by reactive magnetron sputtering] / José Filipe Vilela Vaz . - Guimarães : Universidade do Minho, 2000 . - XIV, 236 p. : il. 30 cm . -
Tese: Doutor em Ciências, área de Conhecimento em Física, apresentada à Universidade do Minho
538.975